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航拍粵芯半導體園區（李劍鋒攝）9月20日，粵芯12英寸晶圓項目在我區投產。這是廣州第一條、廣東省唯一一條量產的12英寸芯片生產線，廣州先進制造業“缺芯”歷史一去不復返。廣州粵芯半導體技術有限公司（下稱粵芯半導體）是國內第一座以虛擬IDM（VirtualIDM）為營運策略的12英寸芯片廠，目前已被列入廣東省、廣州市重點建設項目。項目總投資288億元，分兩期建設，第一期投資100億元，第一期專注于0．18um－90nm模擬芯片與分立器件制造，實現月產4萬片12英寸晶圓的生產能力；第二期投資188億元，第二期專注于65nm－40nm世界最先進高端的高壓BCD模擬芯片技術，月產4萬片12英寸晶圓。該項目以細分化、差異化、訂制化的營運定位，以高端模擬芯片、汽車電子、生物醫療檢測、5G前端模塊等國內較為稀缺的產品為主要方向，預計實現百億級的銷售目標，進一步帶動上下游企業形成千億元產值的規模。填補廣州“缺芯”空白芯片，極為微小的電子器件，它被喻為“工業糧食”，是所有整機設備的“心臟”，更是高端制造業的“皇冠明珠”。在當下智能化、信息化的時代，受惠于終端市場對多功能高效芯片需求逐年增加，如物聯網、智能樓宇、消費電子、汽車電子、工業智能制造、通信、移動市場、人工智能等領域的迅速發展，芯片從來沒有像現在這么重要，需求持續突破性增長，足以撐起一個龐大的市場。我國是全球最大的芯片消費國。根據國家海關數據統計，2018年，中國芯片進口總量為3120億美元，占全球集成電路5000億美元市場規模的近60％，進口額度超過石油，位列國內進口商品第一位。“芯片國產化”已經成為國家未來長期重要的發展戰略。中國已建與在建中的12寸生產線共26條，全部建成后，中國的全部產能將達到111萬片月。但是從國內設計業的需求來看，中國芯片制造產能未達到所需產能的50％，數字、模擬混合芯片與存儲器的市場都存在巨大缺口。廣東省僅有兩家芯片生產企業，其產品大部分為8英寸和6英寸晶圓，全部產能約7萬片月，遠遠不能滿足粵港澳大灣區芯片供應需求。長期以來，廣州缺乏大型芯片制造項目，這種狀況已經成為制約關聯產業發展的瓶頸。在建設現代化經濟體系的大背景下，“廣州芯”產業破局在即。粵芯半導體總裁及首席執行官陳衛表示，“全球將近1．4萬億的半導體芯片市場份額，實際上近60％的芯片市場在中國，中國近60％是在珠三角。廣州有很多優秀的制造業企業，他們需要大量的半導體芯片。整個行業需求量非常大，當前供不應求，今年以及明年半導體芯片的需求量會非常大。”作為廣州發展新一代信息技術的核心區，我區主動策劃、引進大型芯片制造項目。粵芯12英寸晶圓項目的建成投產，將填補廣州市“缺芯”空白，為廣州鏈結半導體產業跨出第一步，并帶動廣州乃至粵港澳大灣區新一代信息技術、消費電子、人工智能等產業發展。“粵芯12英寸晶圓項目標志著廣州可生產在地芯片，填補了之前廣東、廣州芯片生產空白，是‘廣州第一芯’。之后我們可以直接服務廣東、粵港澳大灣區客戶群。這些客戶用的芯片之前有可能來自美國、臺灣或者是國內其他芯片廠。”粵芯半導體副總裁李海明表示，“雖然發展集成電路行業任重而道遠，但我們有理由相信，粵芯12英寸晶圓項目的成功投產是個很好的開端。”為產業發展提供“芯”力量“快”，是粵芯半導體從開建以來的關鍵詞：自2018年3月打樁、10月主廠房封頂、2019年3月設備搬入，再到6月生產設備調試完畢開始“投片”，9月20日兩個工藝平臺開發完畢、通過可靠性驗證，并開始爬坡“量產”．．．．．．短短一年半時間，粵芯半導體建設不斷提速，效率令人贊嘆。據悉，粵芯半導體項目總投資288億元，第一期投資100億元，專注于0．18um－90nm模擬芯片與分立器件制造，實現月產40，000片12英寸晶圓的生產能力，面向最為迫切的物聯網、汽車電子市場需求。項目第二期投資188億元，專注于65nm－40nm世界最先進高端的高壓BCD模擬芯片技術，月產40，000片12英寸晶圓，滿足高端汽車電子、人工智能及5G等創新應用的模擬芯片與分立器件需求。陳衛表示，作為初創企業的粵芯半導體，將牢牢握緊市場化這把“金鑰匙”，以產品為中心打造“差異化的工藝制程”，并將鎖定高端模擬芯片、汽車電子、生物醫療檢測、5G前端模塊等國內較為稀缺的產品方向。粵港澳大灣區汽車產業發達，電子產業（家電、工業、消費類）生產規模占中國80％以上，互聯網產業集聚，正是粵芯半導體瞄準的目標市場所在地。“2014年起中國半導體發展成長領先全球，在2017年增長率是24．8％，主要來自汽車電子、AI（人工智能）與5G。隨著5G時代的到來，中國芯片未來可期。”陳衛說。在生產工藝方面，李海明介紹，12英寸晶圓芯片是目前跨國公司的主要技術產品。中國廠家生產的主要是6英寸、8英寸晶圓，12英寸晶圓芯片自給率很低。晶圓尺寸越大，同一圓片上可生產切割的芯片就越多，這可以極大地降低產品成本，但同時對材料技術和生產技術的要求也更高。相對于8英寸芯片生產線，粵芯的12英寸芯片生產線效率可達原來的2．25倍。“與大多數模擬芯片供應商不同，粵芯建設了12英寸晶圓廠，而非8英寸晶圓廠。這將為粵芯半導體中長期的發展帶來顯著的成本優勢。”粵芯半導體設備供應商荷蘭阿斯麥深紫外線光刻機事業部資深總監Antonio博士在投產活動上表示。產業發展的背后還有人才及技術團隊的支撐。據陳衛介紹，粵芯半導體匯集美國、英國、新加坡、中國大陸和中國臺灣的優秀技術人才，構建了以頂尖人物為先頭部隊、以優秀博士為主戰隊伍、以優秀碩士為支撐保障組織的戰略攻擊陣型。粵芯12英寸晶圓項目投產當天，粵芯半導體與中國科學院微電子研究所、中山大學微電子學院、華南理工大學微電子學院、復旦大學微電子學院、廣州昂寶電子有限公司、格科微電子（上海）有限公司等20多家半導體產學研單位簽約，共同開展產學研合作，合力培養半導體產業發展的人才。憑借著出色的技術水平，近期粵芯團隊聯合中標工信部半導體、芯片、關鍵零部件等領域的產業技術基礎公告服務平臺建設項目。該建設項目面向第三代半導體碳化硅芯片制造技術，開展“卡脖子”核心裝備研制，重點解決高硬度材料的高平整度、低粗糙度高效加工技術等難題。龍頭企業串起創“芯”智造園粵芯12英寸晶圓項目在國內首創了虛擬IDM（VirtualIDM）運營模式。據介紹，粵芯半導體負責建設運營12英寸芯片廠，聯合芯片設計客戶進行工藝平臺的訂制開發，無縫聯結“芯片設計”、“制造”到“客戶市場應用需求”，這正是粵芯項目核心技術的優勢來源。粵芯項目的建成投產將發揮“樞紐”作用，引進上下游企業集聚形成全新的千億級產業集群，進一步帶動廣州乃至珠三角新一代信息技術、消費電子、人工智能等產業發展。據悉，自粵芯半導體動工建設以來，已有80家集成電路產業鏈企業慕名前來考察，32家企業注冊落地，其中過億營業額的已經超過7家。這些項目涵蓋設計、封測、設備、材料的上下游產業等多個領域，構建了以粵芯半導體為龍頭，集“芯片設計－晶圓制造－封裝測試－終端應用”為一體的全產業鏈生態圈。隨著越來越多半導體企業集聚，我區在粵芯項目落戶的知識城內規劃了新能源新材料價值創新園。該園區規劃面積6．4平方公里，其中集成電路產業創新園作為“園中園”，重點以粵芯項目等龍頭企業為核心，引進了一批大尺寸晶圓生產線項目，力爭在化合物半導體器件、微機電系統、功率半導體器件、特色工藝和第三代半導體材料等領域均有較大進展；全面進軍計算、存儲和移動通信芯片領域，在新材料領域引進一批國內外知名企業，形成較為完整的產業鏈條，建設成為廣州創“芯”智造園。打造全國半導體產業聚集地2018年底出臺的《廣州市加快發展集成電路產業的若干措施》提出，廣州以黃埔區、廣州開發區為核心，計劃通過實施七大工程，涵蓋芯片制造提升、芯片設計躍升、封裝測試強鏈、配套產業補鏈、創新能力突破、產業協同發展、人才引進培育等，力爭到2022年，建成全國集成電路產業集聚區、人才匯聚地、創新示范區。我區是廣州制造業發展的重鎮，已形成了汽車、電子信息、化工三大千億級產業集群和新材料、食品飲料、金屬制造、生物健康四大五百億級產業集群。集成電路是我區重點培育發展的又一千億級支柱產業。我區出臺了鼓勵新一代信息技術發展的政策，并專門針對集成電路發展的關鍵環節進行精準施策，包括對企業封裝設計企業進行專項目補助，對集成電路企業研發多項目晶圓（MPW）給予補貼，對設計企業購買光罩（MASK）給予補貼，對設計企業工程片、試流片加工費用給予補貼等，幫助企業拓展市場。目前區內有包括高云半導體、安凱、興森快捷等50多家集成電路企業，主要集中在設計、封裝、測試領域。其中，在設計領域，安凱點讀筆應用處理器在教育電子產品市場的占有率達到50％以上；在封裝測試領域，廣州興森快捷電路科技股份有限公司是國內最大的印制電路樣板小批量板快件制造商之一；高云半導體已推出50多種封裝類型的國產FPGA芯片，創新成果全部擁有完全自主知識產權，項目技術填補國內空白，打破了國際壟斷，使中國成為全球第二個自主研發并產業化FPGA芯片的國家。我區還牽頭組建廣州市半導體協會。該協會由粵芯半導體發起并任會長單位，51個單位共同創會，其中既有安凱微電子、昂寶電子等多家區內電子信息企業，還有來自深圳、佛山的上下游企業，以及華南理工大學、中山大學、華南師范大學、廣州大學、澳門大學等高校院所，可謂集結了整個粵港澳大灣區的行業力量。作為廣州市半導體協會會長，陳衛表示，“粵芯半導體不是一個人在戰斗，我們有千萬萬萬的半導體同仁在奮斗。廣州發展芯片項目，時機正好，需求旺盛。希望更多芯片企業來到廣州，與粵芯共同發展。”（供稿：范敏玲、賴偉敏、黃嘉慶、歐志斌）

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